Misurazione di
pressione assoluta e differenziale
I sensori di pressione registrano la flessione di una membrana
prodotta dalla pressione. Per fare questo si collocano sulla membrana un
ponte di bande estensometriche. Modificano la resistenza elettrica per
l'effetto piezoresistente nel caso di flessione, pressione o trazione.
Prima si costruivano a base di rivestimento di costantana o di platino -
iridio. Oggi giorno si impiegano resistente impiantate di silicio la
maggior parte delle volte. Il substrato di silicio serve da membrana. Il
suo vantaggio consiste in una fabbricazione più economica ed una
sensibilità maggiore del fattore 10. Ma il suo inconveniente è un
coefficiente di temperatura più elevato. Con il sensore di pressione
differen- ziale domina la pressione p1 a un lato della membrana e
dall'altro lato p2. Per questa deviazione della membrana contiamo solo
con la differenza di pressione come dato significativo ∆p = p1 - p2. Con
il sensore di pressione assoluta si conforma il lato della membrana come
camera di vuoto. Sulla membrana si collocano quattro bande
estensometriche connesse come ponte di resistenza. Sono unità allo
stesso modo delle resistenze che cambiano in senso contrario alle
stecche del ponte. Per mezzo di questa disposizione succede che, come si
può vedere nelle immagini 2 e 3, compensano un segnale di uscita
particolarmente grande effetti di senso simile, come il valore assoluto
delle resistenze ed il loro coefficiente di temperatura. Per i pochi
cambi di resistenza ∆R, il segnale di uscita continua ad essere basso.
Secondo il sensore usato, la pressione massima si trova tra 25 e 250 mV
con una tensione di operazione di Uref = 5 V. Il cambio relativo di
resistenza si trova tra 0,5 e 5 %.
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